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在光子芯片制造过程中，工艺监控的精度直接决定芯片良率与性能。散射测量仪作为关键在线检测设备，其校准方法的科学性与规范性成为行业焦点。本文基于国际半导体设备与材料协会SEMI）最新标准，系统介绍当前主流
